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• 지멘스 공법, -工法, SIEMENS Method

  독일의 지멘스사가 개발한 폴리실리콘 제조 방법. 폴리실리콘은 태양 전지 등 각종 전자 소자의 원재료가 되는 핵심 소재로, 지멘스 공법은 금속 실리콘을 염산(HCl)과 반응시켜 기체 상태인 염화실란(Chlorosilane)으로 만들거나, 25℃에서 증류시켜 삼염화실란(Trichlorosilane : TCS)을 만들어 실리콘 막대와...